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ion-beam cleaning 离子清洗
ion n beam cleaning 离子束清洗
Ion Beam Etching Cleaning 离子束刻蚀清洗
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The unique smoothing and cleaning effects of gas cluster ion beam wou1d result from multiple collision, lateral sputtering and high density energy deposition.
气体离化团束优良的平坦化和清洁化效果可能与照射中多体碰撞、侧向溅射及高能量密度的沉积相关。
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